掃一掃
關(guān)注公眾號
- 網(wǎng)站首頁
- 產(chǎn)品中心 --> --> --> -->
- 服務(wù)支持
- 關(guān)于普迪
- 新聞中心
- 聯(lián)系我們
設(shè)備特點：
★廣泛應(yīng)用于蒸發(fā)金、銀等貴金屬材料的電極制備，適合半導(dǎo)體剝離工藝，節(jié)省蒸鍍材料
★系統(tǒng)配置上配備了脂潤滑無油分子泵可任意角度安裝，縮短抽氣管道提高了抽速，節(jié)約樣品制備時間
★可升級不停泵放氣功能，可實現(xiàn)全自動控制功能
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：300×300×400
★設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：530×750×1800
★真空極限：優(yōu)于（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）≤30min保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺：≤100mm×100mm
★蒸發(fā)源：可搭配2～4組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發(fā)
QQ客服